1200℃旋轉(zhuǎn)CVD管式爐
簡要描述:OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個加熱區(qū),可提高溫度均勻性,同時配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。OTF-1200X-5L-R-CVD 1200℃旋轉(zhuǎn)CVD管式爐
產(chǎn)品型號: OTF-1200X-5L-R-CVD
所屬分類:旋轉(zhuǎn)管式爐
更新時間:2023-11-06
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個加熱區(qū),可提高溫度均勻性,同時配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。
OTF-1200X-5L-R-CVD 1200℃旋轉(zhuǎn)CVD管式爐
性能指標和基本配置 | |
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爐膛結(jié)構(gòu) | ● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng) ● 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命) ● 一個直流電機驅(qū)動爐管轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)速為可調(diào) ● 爐體開啟式設(shè)計,方便更換爐管 ● 爐體可以傾斜,傾斜角度可調(diào) ● 設(shè)有開門斷電功能,提高實驗安全性 |
基本參數(shù) | ● 溫度:1100℃(1200℃<1h) ● 建議升溫速率:≤10℃/min ● 熱偶:K型熱偶 ● 電源:AC208-240,50Hz 最大4KW ● 加熱區(qū)長度:600mm 三溫區(qū):150mm+300mm+150mm |
爐管和法蘭 | ● 異型石英管,內(nèi)部焊接有揚料板,使粉體燒結(jié)更加充分和均勻 ● 尺寸:100 mm OD x 1200 mm L (異型管) |
加熱元件 | ● 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命) |
溫控系統(tǒng) | ● 三個溫區(qū)分別有三個獨立的溫控系統(tǒng)控制 ● 包含一款YD518P型溫度控制器 ● PID自動控溫系統(tǒng) ● 智能化30段可編程控制 ● 控溫精度:±1℃ ● 默認DB9 PC通信連接端口 ● 通過MET認證 ● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數(shù)據(jù) |
爐體傾斜角度 | ● 可調(diào)范圍:-5° - 25° |
氣密配件 | ● 用磁流體法蘭密封 |
進氣系統(tǒng) | ● 四通道精密氣體混合和輸送系統(tǒng),配有觸摸屏,用于1-4種氣體CVD ● 注意:如果通入的是易燃易爆型氣體,必須將設(shè)備安裝在通風柜中 |
外形尺寸 | ● 1950mmL X 600mmW X 1320mmH ● 混氣系統(tǒng):600mmL X 750mmW X 700mmH |
設(shè)備凈重 | ● 回轉(zhuǎn)爐:約130 Kg |
使用提示 | ● 此套設(shè)備可以配合本公司連續(xù)送料裝置來達到連續(xù)進料的效果(圖一、二) ● 對于CVD系統(tǒng),您可以選擇我們的多通道進氣系統(tǒng)(圖三) ● 在收集粉末時需要在密封容器中傳送的情況下,可以在我公司購買與爐管一起安裝的密封裝置。這種裝置包括帶內(nèi)螺紋法蘭、柔性波紋管、直角管、帶有蝶形閥的容器和支撐架。客戶可以很簡單的將帶有蝶閥的收集罐與設(shè)備斷開鏈接,并在運輸過程保持密封。點擊下列圖片查看詳情(圖三) |
真空系統(tǒng) | ● 通過機械泵可達到10E-2 Torr ● 通過分子泵泵可達到10E-5 Torr ● 可選購一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染 |
質(zhì)保期 | ● 一年保修,終身技術(shù)支持。 ● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
質(zhì)量認證 | ● 所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證。 |
使用注意事項 | ● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ● 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài) ● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時間使用溫度<1100℃ ● 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
OTF-1200X-5L-R-CVD 1200℃旋轉(zhuǎn)CVD管式爐
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