VTC-100PA 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)（加熱型）

簡(jiǎn)要描述：VTC-100PA 真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)（加熱型）適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備

產(chǎn)品型號(hào)：

所屬分類：提拉涂膜機(jī)

更新時(shí)間：2024-11-05

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

聯(lián)系我們留言詢價(jià)

詳情介紹

VTC-100PA（加熱型）真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤(pán)、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、

強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

性能指標(biāo)和基本配置
主要特點(diǎn)	● 真空吸附方式固定樣件，操作簡(jiǎn)便。 ● 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動(dòng)或飛片。 ● 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤(pán)，且更換方便簡(jiǎn)單。 ● 設(shè)有12組程序，每組包含6個(gè)運(yùn)行階段。 ● 電機(jī)啟動(dòng)快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。 ● 50W/24V 直流電機(jī) ● 適于在Ar氣環(huán)境中工作（真空泵放置在手套箱外）
參數(shù)	● 電機(jī)功率：50W/24V ● 速度范圍：500-10000rpm ● 程序運(yùn)行：可儲(chǔ)存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段 ● 增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s ● 時(shí)間范圍：0-60s ● 吸盤(pán)：Φ19mm、Φ60mm
進(jìn)氣口	上蓋有一個(gè)直徑6mm的進(jìn)氣口可將需要的氣體通入腔體，實(shí)現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉(zhuǎn)涂覆
可選加熱部分	上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測(cè)溫，數(shù)字溫控器控溫，最高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽(yáng)能電池等研究。
產(chǎn)品尺寸	450mm×280mm×340mm；
產(chǎn)品重量	20kg
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	真空吸盤(pán)（含O型圈）	2個(gè)
	2	中心定位器（含4個(gè)定位柱）	1個(gè)
	3	滴膠注射器（20ml）	1個(gè)
	4	注射器支架	1個(gè)
	5	AP-1400V無(wú)油真空泵	1臺(tái)
	6	橡膠管（含卡箍）	1根
可選配件	過(guò)濾器（真空泵用）
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。