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MSK-PSE-EC1515-D共蒸六源鈣鈦礦真空鍍膜儀配備6組蒸發(fā)源，可蒸鍍切換最多6種有機材料，也可同時共蒸2種材料如：Cu、Ag、PbI2、CsBr等材料；設備可與手套箱對接方便在手套箱中操作，采用前滑動開門結構。設備廣泛應用于高校、科研院所的教學、科研實驗以及生產型企業(yè)前期探索性實驗及開發(fā)新產品等。
| 功能特點 |
|---|
真空腔室：采用304不銹鋼腔室，設計有前門雙導軌和后門手動鉸鏈結構，前后門帶玻璃觀察窗及防污擋板。真空室內外表面經過拋光處理，并預留有照明、膜厚儀等設備接口；
真空系統(tǒng)：配備中科科儀脂潤滑分子泵FF-200/1300口徑與鮑斯BVS30機械泵真空系統(tǒng)，8寸氣動擋板閥，真空測量：1個一低一高真空計，具有高效的抽氣能力，抽氣時間短且極限真空度高（優(yōu)于2.0×10-5Pa），關機12小時后仍可保持良好真空性能；
基片臺：抽屜式結構，可承載最大L150mm*W150mm樣品，配氣動基片擋板，支持旋轉和水冷功能，與蒸發(fā)源距離可調，手動升降調節(jié)最大距離50mm可調；
蒸發(fā)源及電源：系統(tǒng)配置2組舟式蒸發(fā)源，金屬源采用水冷銅電極+蒸發(fā)舟結構，最高溫度可達1500℃；并配備2.4KW蒸發(fā)電源，支持恒流和恒壓兩種驅動模式，可手動/軟件控制也可通過膜厚儀PID控制調節(jié)蒸發(fā)速率；
膜厚控制系統(tǒng)：采用進口INFICON公司的SQC-310C膜厚儀，精度高達0.01埃，可實現兩源共蒸發(fā)。同時，還配備了西門子PLC+觸摸屏手自動控制系統(tǒng)，可以輸入速率和終厚，通過PID調節(jié)自動控制蒸發(fā)電源輸出；
共蒸六源鈣鈦礦真空鍍膜儀配備
| 技術參數 | ||
|---|---|---|
| 電源 | 三相五線制AC380V±10%，頻率：50Hz，總功率約8KW | |
| 氣源 | 壓縮空氣：干燥、干凈、無水、無油的壓縮空氣，8mm塑料氣管，壓力5.5～6公斤（0.55-0.6MPA） 氮氣：干燥氮氣，用于設備腔室破真空，8mm塑料氣管，壓力1-2公斤（0.1-0.2MPA） | |
| 水源 | 流量15-20升/分鐘，15～25℃， 進水和出水壓差1～2公斤，進水壓力2～3公斤， 設備的進水和出水口外徑12mm | |
| 真空室 | 304L不銹鋼方形真空室，內部電拋光，立式前后開門結構 前門配有帶檔板直徑4英寸觀察窗1個（配防污玻璃），后門配有小觀察窗用于觀察樣品源和樣品2個（配防污玻璃） 內襯材質：不銹鋼，多片結構方便拆卸安裝 左側：連接主閥門和分子泵，真空測量接口 頂部：安裝旋轉水冷樣品臺、樣品臺大擋板、膜厚儀接口各1個 底板：安裝金屬蒸發(fā)電極2組、有機源蒸4組，2個膜厚儀探頭安裝口 真空室下方為一體式電控部分，配有萬向輪和地腳，方便移動 | |
| 抽真空系統(tǒng) | 組成 | 分子泵+機械泵組合式真空系統(tǒng)，氣動閥門，進口全量程真空計 分子泵：中科科儀脂潤滑分子泵FF-200/1300口徑，抽速：1300L/S 機械泵：鮑斯BVS30機械泵，抽速：9L/S 真空閥門：DN40mm 擋板閥2套；中科科儀氣動主閥DN200 1套 真空密封：可拆靜密封采用氟橡膠圈密封，不常拆靜密封采用無氧銅密封 |
| 真空極限 | 真空極限優(yōu)于2.0×10-5Pa 漏率：優(yōu)于5×10－8Pa*L/S（國家標準） 關機12小時后，真空度≤5Pa（手套箱干燥氮氣環(huán)境） | |
| 抽速 | 抽氣時間：大氣壓～5*10-4Pa，小于20min（手套箱干燥氮氣環(huán)境） | |
| 真空計 | 1個一低一高真空計 自動控制切換低真空、高真空測量，范圍：大氣到5E-9torr 真空讀數輸入PLC，用于工藝控制 | |
| 蒸發(fā)源 | 配備2組舟式蒸發(fā)源。帶2.4KW電源1套恒流恒壓模式 配備4組有機束源蒸發(fā)源，配套4組坩堝，加熱溫度：0～700℃，角度可調范圍：15° 配備4臺20-10有機蒸發(fā)電源，配備實時顯示坩堝溫度日本導電溫控儀，可程序段控溫 | |
| 工件架 | 配有自轉電動工件盤，一次性放置最大150*150mm樣品，配有單轉軸空心磁流體密封，樣品旋轉 高扭矩電機和控制器，轉速0～30RPM可調 帶冷卻功能 氣動擋板 | |
| 系統(tǒng)自動控制 | 西門子PLC+觸摸屏手自動控制，可輸入速率及終厚，PID調節(jié)自動控制蒸發(fā)電源輸出 控制內容：機械泵，分子泵，氣動、電磁閥門、真空計等等；自動抽真空、自動鍍膜、自動排氣等 完整的互鎖保護（硬件、軟件互鎖），另外系統(tǒng)還配備水流檢測報警裝置 | |
| 安全保護 | 缺水欠壓檢測與保護、相序檢測與保護、溫度檢測與保護、真空系統(tǒng)檢測與保護，對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執(zhí)行相應保護措施 | |
| 真空室尺寸 | 約L400*W400*H450mm | |
| 外形尺寸 | 約L1000*W780*H2000mm | |
| 重量 | 約360kg | |
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